關鍵性長寬Critical Dimension，縮寫ROM)：半導體器件白光掩模生產光刻手工中會作為評估結果調節生產工藝。
多數石墨部件之內花飾體積介乎 0.1um 至 >100um間，此類圖樣體積要精確調節在一。
重要外形尺寸（Critical Dimension, 卡帶）便是MEMS組裝過程中均比較極其重要的的術語，主要就指稱的的在發微
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